雖然波長(cháng)色散型（WD-XRF）X射線(xiàn)熒光光譜儀與能量色散型（ED-XRF）X射線(xiàn)熒光光譜儀同屬X射線(xiàn)熒光分析儀，它們產(chǎn)生信號的方法相同，得到的波譜或者能譜也極為相似，但由于采集數據的方式不同，ED-XRF與WD-XRF在原理和儀器結構上有所不同，功能也有區別。

原理區別

X-射線(xiàn)熒光光譜法，是用X-射線(xiàn)管發(fā)出的初級線(xiàn)束輻照樣品，激發(fā)各化學(xué)元素發(fā)出二次譜線(xiàn)（X-熒光）。波長(cháng)色散型熒光光儀（WD-XRF）是分光晶體將熒光光束色散后，測定各種元素的含量。而能量色散型X射線(xiàn)熒光光儀（ED-XRF）是借助高分辨率敏感半導體檢測器與多道分析器將未色散的X-射線(xiàn)按光子能量分離X-射線(xiàn)光譜線(xiàn)，根據各元素能量的高低來(lái)測定各元素的量。由于原理不同，故儀器結構也不同。

結構區別

波長(cháng)色散型熒光光譜儀（WD-XRF），一般由光源（X-射線(xiàn)管）、樣品室、分光晶體和檢測系統等組成。為了準確測量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體系安裝在一個(gè)精密的測角儀上，還需要一龐大而精密并復雜的機械運動(dòng)裝置。由于晶體的衍射，造成強度的損失，要求作為光源的X-射線(xiàn)管的功率要大，一般為２～３千瓦。但X-射線(xiàn)管的效率極低，只有１％的電功率轉化為X-射線(xiàn)輻射功率，大部分電能均轉化為熱能產(chǎn)生高溫，所以X-射線(xiàn)管需要專(zhuān)門(mén)的冷卻裝置（水冷或油冷），因此波譜儀的價(jià)格往往比能譜儀高。能量色散型熒光光譜儀（ED-XRF），一般由光源（X-射線(xiàn)管）、樣品室和檢測系統等組成，與波長(cháng)色散型熒光光譜儀的區別在于它用不分光晶體。

能量色散X射線(xiàn)熒光光譜儀優(yōu)勢

①儀器結構簡(jiǎn)單，省略了晶體的精密運動(dòng)裝置，也無(wú)需精度調整。還避免了晶體衍射所造成的強度損失。光源使用的X-射線(xiàn)管功率低，一般在100W以下，不需要昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統，空氣冷卻即可，節省電力。

②能量色散型熒光光儀的光源、樣品、檢測器彼此靠得很近，X-射線(xiàn)的利用率很高，不需要光學(xué)聚集，在累積整個(gè)光譜時(shí)，對樣品位置變化不象波長(cháng)色散型熒光光譜儀那樣敏感，對樣品形狀也無(wú)特殊要求。

③在能量色散譜儀中，樣品發(fā)出的全部特征X-射線(xiàn)光子同時(shí)進(jìn)入檢測器，這就奠定了使用多道分析器和熒光屏同時(shí)累積和顯示全部能譜（包括背景）的基礎，也能清楚地表明背景和干擾線(xiàn)。因此，半導體檢測器X-射線(xiàn)光譜儀能比晶體X-射線(xiàn)光譜儀快而方便地完成定性分析工作。

④能量色散法的一個(gè)附帶優(yōu)點(diǎn)是測量整個(gè)分析線(xiàn)脈沖高度分布的積分程度，而不是峰頂強度。因此，減小了化學(xué)狀態(tài)引起的分析線(xiàn)波長(cháng)的漂移影響。由于同時(shí)累積還減小了儀器的漂移影響，提高凈計數的統計精度，可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時(shí)累積觀(guān)察和測量所有元素，而不是按特定譜線(xiàn)分析特定元素。因此，見(jiàn)笑了偶然錯誤判斷某元素的可能性。